出展対象

■真空ポンプ 低真空~中真空ポンプ(油回転ポンプ、ドライポンプ他)、高真空ポンプ(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ他)、超高真空ポンプ、真空排気装置
■真空計測器 ピラニ真空計、電離真空計、極高真空計、薄膜計測、制御機器、分光エリプソメータ、プラズマモニタ
■真空部品・材料 真空バルブ、真空スイッチ、各種導入端子、真空ポンプ油、成膜材料
■真空冶金装置 真空溶解関連、真空熱処理関連、真空接合、真空改質関連
■真空化学装置 真空乾燥、凍結乾燥、蒸留、濃縮、脱臭、真空冷却、真空重合関連
■真空薄膜形成加工装置 蒸着、スパッタリング、ドライエッチング、アッシング、イオン注入、CVD、エピタキシャル成長
■ガス分析装置 磁場型質量分析計、マスフィルタ型質量分析計、微量ガス分析装置、電子衝撃発光分光装置
■表面分析装置 電子検出型質量分析装置、光電子分光分析装置、オージェ電子分光装置、電子回析装置、その他の表面分析装置、イオン検出型質量分析装置、二次イオン質量分析装置、イオン散乱分析装置、その他のイオン検出型表面分析装置、X線検出型質量分析装置、X線回析装置、電子線マイクロアナライザ、その他のX線検出型表面分析装置
■試験装置 自動濡れ探し機、スペースチャンバー、真空引っ張り・圧縮試験機、その他試験機
■表面観察装置 走査型トンネル顕微鏡、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡
■その他の真空利用装置 液晶注入、真空包装、真空充填、真空吸着、エポキシ注型、真空含浸、真空リフター、真空プレス、真空ピンセット、プラズマクリーニング
■サービス業務 保守業務、修理・改造、指導・ソフトウェア、中古リサイクル販売、委託加工
■要素機器 各種電源、空圧機器(アクチュエータ)、シーケンス制御機器、機構部品、物流制御機器

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同時開催展

難加工技術展 2017

表面改質展 2017