出展対象

真空ポンプ

低真空~中真空ポンプ(油回転ポンプ、ドライポンプ他)、高真空ポンプ(ターボ分子ポンプ、クライオポンプ他)、
超高真空ポンプ、真空排気装置

真空計測器

ピラニ真空計、電離真空計、極高真空計、薄膜計測、制御機器、分光エリプソメータ、プラズマモニタ

真空部品・材料

真空バルブ、真空スイッチ、各種導入端子、真空ポンプ油、成膜材料

真空冶金装置

真空溶解関連、真空熱処理関連、真空接合、真空改質関連

真空化学装置

真空乾燥、凍結乾燥、蒸留、濃縮、脱臭、真空冷却、真空重合関連

真空薄膜形成加工装置

蒸着、スパッタリング、ドライエッチング、アッシング、イオン注入、CVD、エピタキシャル成長

ガス分析装置

磁場型質量分析計、マスフィルタ型質量分析計、微量ガス分析装置、電子衝撃発光分光装置

表面分析装置

電子検出型質量分析装置、光電子分光分析装置、オージェ電子分光装置、電子回析装置、その他の表面分析装置、
イオン検出型質量分析装置、二次イオン質量分析装置、イオン散乱分析装置、その他のイオン検出型表面分析装置、
X線検出型質量分析装置、X線回析装置、電子線マイクロアナライザ、その他のX線検出型表面分析装置

試験装置

自動濡れ探し機、スペースチャンバー、真空引帳・圧縮試験機、その他試験機

表面観察装置

走査型トンネル顕微鏡、走査型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡

その他の真空利用装置

液晶注入、真空包装、真空充填、真空吸着、エポキシ注型、真空含浸、真空リフター、真空プレス、真空ピンセット、
プラズマクリーニング

サービス業務

保守業務、修理・改造、指導・ソフトウェア、中古リサイクル販売、委託加工

要素機器

各種電源、空圧機器(アクチュエータ)、シーケンス制御機器、機構部品、物流制御機器


開催実績


2019年
開催実績

出展規模:77社・団体  183小間 (企画展示ゾーン等含む)

来場者数:10,815名  ※同時開催展を含んだ場合56,185


過去の出展者一覧(2016〜2019年)

※は共同出展者

  • アールバキュームラボ
  • 葵製作所
  • 赤田工業
  • アジレント・テクノロジー
  • USTRON
  • アネット
  • アミリア・ジャパン
  • アムテックス
  • アリオス
  • アルバック
  •  ※アルバック機工
  •  ※アルバック九州
  •  ※アルバック・クライオ
  •  ※アルバックテクノ
  •  ※アルバック販売
  •  ※昭和真空
  • アローズ
  • 石原ケミカル
  • 石山ネジ
  • 入江工研
  • インフィコン
  • エドワーズ
  •  ※Gamma Vacuum
  • エヌ・ティー・エス
  • 荏原製作所
  •  ※荏原フィールドテック
  • EPOCH
  • エムケーセラ
  • 大阪真空機器製作所
  • オービタルエンジニアリング
  •  ※Plug in
  • 大村技研
  • 岡崎製作所
  • オプトラン
  • オリオン機械
  •  ※東日本オリオン
  • カーボンコンポジット
  •  ・インコーポレーテッド
  • 韓国真空技術研究組合
  •  ※RF POWERTECH
  •  ※ASFLOW
  •  ※ALPHAPLUS
  •  ※INFOVION
  •  ※韓国丸井
  •  ※タサンENG
  •  ※PSTEK
  • キッツエスシーティー
  • キヤノンアネルバ
  • 熊本県
  • ケイ・エム技研
  • 京浜ラムテック
  • ケメット・ジャパン
  • 国際リニアコライダー計画展
  •  ※岩手県ILC推進局
  •  ※いわて産業振興センター
  • コスモ・テック
  • コフロック
  • コベルコ科研
  • 埼玉県産業振興公社
  • 埼玉工業大学
  • 埼玉自動車大学校
  • 佐藤真空
  • 産業技術総合研究所 計量標準総合
  •  センター 圧力真空標準研究グループ
  • 産業タイムズ社
  • 三輪精機
  • JFE商事エレクトロニクス
  • 芝浦メカトロニクス
  •  ※芝浦エレテック
  • 島津製作所
  • 写真化学 プロダクトカンパニー
  • 上海翔卓真空軟管
  • 昭和螺旋管製作所
  • 伸栄化学産業
  • シンクロン
  • 神港精機
  • 新明和工業
  •  ※大亜真空
  • SCREENファインテックソリューションズ
  • 住化分析センター
  • 住友重機械工業
  • Zhejiang Value Mechanical
  •  & Electrical Products
  • 関口産業
  • ゼネラル物産
  • 大亜真空
  • 第五電子工業
  • 大成技研
  • 大同機械製造
  • WTM
  • 中外炉工業
  • 中国電化工業
  • 中山泰維電子
  • 椿本興業
  • テクネティクス・グループ・ジャパン
  • テクノポート
  • テクノロジーリンク
  • 東莧市欧莱濺射靶材
  • 東京電子
  • 東邦化研
  • 東洋樹脂
  • 東洋ステンレス化工
  • 東和工業
  • トヤマ
  • ナイス
  • 中家製作所
  • 日伸精工
  • ニッタ
  • 日本エバテック
  • 日本電子
  • ハイテック・システムズ
  • Htc
  • 伯東
  •  ※ファイファーバキューム社
  • 原田産業
  • バルカー・ガーロック・ジャパン
  • VISTA
  •  ※Telemark
  • 日立造船
  • 日立ハイテクノロジーズ
  • VICインターナショナル
  • ひびき精機
  • VAT
  • フィジックステクノロジー
  • フォーユー
  • フォンアルデンヌジャパン
  • フジキン
  • 富士交易
  •  ※Gencoa
  • フジ・テクノロジー
  • フジ電科
  • ペガサスソフトウェア
  • 北京天地精儀科技
  • Photo electron Soul
  • 堀場エステック
  • 牧野フライス製作所
  • マルマエ
  • みずほ銀行
  • メープル
  • メタルヒート
  • やまぐち産業振興財団
  • ヤマト
  • 吉川製作所
  •  ※アールエムテック
  • ライボルト
  • リガク
  • リッチモアインターナショナル
  • ワイピーシステム

前回(2019年)来場者アンケート

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前回(2019年)の主な来場企業・団体

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